3-osne jedinice za otklon
podrška talasna dužina: 1064nm
XY2-100 protokol
verzija sa zakrivljenom površinom i verzija sa velikim oznakama polja za opcije
obrada velikih radnih polja sa malim mrljama
podržava talasnu dužinu: 10640nm, 10200nm, 9400nm
radno polje: 300*300mm do 1600*1600mm