Série FR30
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Sistema de foco dinâmico 3D – FR30-F
Unidades de deflexão de 3 eixos
comprimento de onda de suporte: 1064nm
Protocolo XY2-100
versão de marcação de superfície curva e versão de marcação de campo grande para opções
processamento de grandes campos de trabalho com pequenas manchas
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Sistema de foco dinâmico 3D – FR30-C
Unidades de deflexão de 3 eixos
comprimento de onda de suporte: 10640nm, 10200nm, 9400nm
Protocolo XY2-100
campo de trabalho: 300*300mm a 1600*1600mm
processamento de grandes campos de trabalho com pequenas manchas