3-axis deflection mayunitsi
kutalika kwa mawonekedwe: 1064nm
XY2-100 protocol
mtundu wokhotakhota wa pamwamba ndi mtundu waukulu wazolemba zamitundu zosankha
kukonza minda yayikulu yogwirira ntchito yokhala ndi malo ang'onoang'ono
kutalika kwa mawonekedwe: 10640nm, 10200nm, 9400nm
ntchito munda: 300 * 300mm kuti 1600 * 1600mm