หน่วยโก่งตัว 3 แกน
รองรับความยาวคลื่น: 1,064 นาโนเมตร
โปรโตคอล XY2-100
รุ่นมาร์กพื้นผิวโค้งและรุ่นมาร์กฟิลด์ขนาดใหญ่สำหรับตัวเลือกต่างๆ
การประมวลผลพื้นที่ทำงานขนาดใหญ่ที่มีจุดเล็ก
รองรับความยาวคลื่น: 10640nm, 10200nm, 9400nm
พื้นที่ทำงาน: 300 * 300 มม. ถึง 1600 * 1600 มม