د وړتوب تضمین
د وروستي کارونکي تجربې تعقیب کول
د هر اړخیز کیفیت تضمین ورکړئ
100٪ د تودوخې تودوخې کشف کول
د بشپړ پروسې ریښتیني وخت د تودوخې تودوخې څارنه
د ریښتیني معلوماتو راپور تولید کړئ
د موقعیت دقت
د ډرایور او موټرو سینسر ډیری تکرارونو له لارې، FEELTEK د دقیق سطح پروسس کولو تضمین کولو لپاره د ښه موقعیت درستیت چمتو کوي.
د ډریف سپپریشن
د ډرایور او موټرو سینسر اصلاح کولو له لارې ، د امپلیفیر سره یوځای ، موږ د ډریف سپپریشن کنټرول وړ کوو.
د سرعت فعالیت او د څارنې کنټرول
د موټرو سرعت او سرعت فعالیت د کونج دقیقیت او اوور شوټ لپاره تضمین دی ، دا د دقیق پروسس کولو لپاره د ننوتلو معیار هم دی (د لوړ سرعت ډکول ، etching.etc)
یونیفورم
د ورته سرعت او دقیق XY له لارې ډاډ ترلاسه کړئ.
د ډکولو دقیقیت او د مایکرو پروسس کولو ګردوالي ډاډ ترلاسه کړئ.
د فرښتې ډکولو او مستقیم لاین ډیټر پیرامیټر ښه کړئ.
د Z محور کیلیبریشن
د لوړ دقیق موقعیت سینسر کیلیبریشن پلیټ فارم له لارې ، FEELTEK د متحرک محور خطي ، ریزولوشن او د تودوخې ډرایف ډیټا پایلې رامینځته کولی شي څرګند شي.کیفیت تضمین دی.
د ازموینې راپور
●د کیلیبریشن هدف: د موقعیت دقیقیت، د تودوخې جریان او د Z محور خطي.
●د کیلیبریشن طریقه: د لوړ دقیق حد موندونکی.
●د کیلیبریشن وسیله: SICK (C30T05).
●د کیلیبریشن وسیلې شاخصونه: رینج: 30mm، دقیقیت: 0.3μm، د نمونې وقفه: 12.5μs.
●Cal ibration
خطيتوب: 99. 5%@3°
د تودوخې حرکت: ≤4 μm@4hours
قرارداد: ≤1.2 μm
